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热质量流量计
（
Thermal Mass Flowmeter
）
热质量流量计（
Thermal Mass Flowmeters
）-流体吸收热量的速率直接与它的流量成比例。移动气体的分子与热源接触，它们吸收热量使热源冷却。当流速增加时，有更多的分子与热源接触，吸收更多的热量。热源以这种方式散失的热量总数与特定气体分子数量（它的质量）、气体的热学特性以及它的流动特性成比例。
重要的供应商
Aalborg Instruments & Controls, Inc.
DFC
数字式质量流量控制器
这种可编程的质量流量控制器具有数字信号处理，可以编程、记录和借助
RS-485
接口使用计算机分析各种气体的流速（可选
RS-232
接口）。
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& P Instrument Co., Ltd.
Address: Fm. 310, Building 3 (Rongke Chuangye Bld.) No. B 9, Rd. Huayuan Dong, Haidian District Beijing 100083 China
Contact: Andy Wu Phone: +86 (10) 6207.4835 Fax: +86 (10) 6207.7434
E-mail:
anpbj@anpico.com
Brooks
®
热质量流量计/控制器
Brooks
提供一个宽范围的热质量流量计和控制器（
MFCs
），适用于流速从0-3
sccm
到0-2500
slpm
的气体生产中的精确测量与控制，精确度达到测量点的±1%。其型式有用于一般工业应用的弹性体密封，或者用于无污染处理的超高纯度和金属密封。
TruCal™
选项可减小生产与校准气体之间性能差异引起的测量误差，具有出众的性能。也可以选用按
NEMA4X/IP65
要求和在防爆环境中使用的型号。
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